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光检测器和用于检测光的方法

来源:宝玛科技网
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明

(21)申请号 CN201910094123.9 (22)申请日 2019.01.30 (71)申请人 应用材料以色列公司

地址 以色列雷霍沃特

(10)申请公布号 CN110095186B

(43)申请公布日 2020.06.19

(72)发明人 拉斐尔·马修斯;塔尔·库兹尼斯;帕维尔·玛格丽斯 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人 徐金国

(51)Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

光检测器和用于检测光的方法

(57)摘要

一种方法和一种光检测器,所述光检测器

包括(i)光子到电子转换器,将光子转换成一个或多个光电子;(ii)光电子检测电路,包括光电子感测区域;(iii)腔室;(iv)偏置电路,被配置为将一个或多个偏置信号供应到所述光检测器以用于使所述一个或多个光电子的在所述腔室内并朝向所述光电子感测区域的传播加速;(v)光电子操纵器,被配置为以多个操作模式中的选定操作模式操作,所述操作模式的阻挡程度不同;(vi)控

制器,被配置为基于关于以下至少一个的反馈而控制所述光电子操纵器:(a)所述光子,(b)所述一个或多个光电子,(c)先前光子,和(d)先前一个或多个光电子。

法律状态

法律状态公告日

2019-08-06 2019-08-06 2019-08-06 2019-09-17 2019-09-17 2020-06-19

法律状态信息

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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