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专利名称：温度测量装置、温度测量方法和热处理装置专利类型：发明专利发明人：诸井政幸,菊池仁申请号：CN201210167749.6申请日：20120525公开号：CN102796997A公开日：20121128
摘要：本发明提供用于热处理装置的温度测量装置、温度测量方法和热处理装置。该热处理装置具有加热部和在内部设有用于载置基板的旋转台的处理容器，该温度测量装置包括：辐射温度测量部，其能够在使旋转台以规定的转速旋转的状态下，通过沿旋转台的径向对该旋转台的一表面侧进行扫描来测量沿着该径向形成的多个温度测量区域的温度；温度映射制作部，其根据由辐射温度测量部沿旋转台的径向进行扫描的每次扫描的温度测量区域的数量、及旋转台的规定的转速，确定由辐射温度测量部测量了温度的温度测量区域的地址，将该温度与该地址相关联，存储到存储部；温度数据显示处理部，其根据由温度映射制作部存储在存储部的温度与地址，显示基板的温度分布。
申请人：东京毅力科创株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
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